Courbeurs de miroirs
Pour obtenir des faisceaux de rayons-x de haute qualité
- Contrôle précis de la courbure
- Accès à des formes elliptiques, paraboliques ou cylindrique
- Absence de torsion
- Insensible aux variations de température
Pour obtenir des faisceaux de rayons-x de haute qualité
- Contrôle précis de la courbure
- Accès à des formes elliptiques, paraboliques ou cylindrique
- Absence de torsion
- Insensible aux variations de température
Courbeurs de miroirs
Pour obtenir des faisceaux de rayons-x de haute qualité
- Contrôle précis de la courbure
- Accès à des formes elliptiques, paraboliques ou cylindrique
- Absence de torsion
- Insensible aux variations de température
Pour obtenir des faisceaux de rayons-x de haute qualité
- Contrôle précis de la courbure
- Accès à des formes elliptiques, paraboliques ou cylindrique
- Absence de torsion
- Insensible aux variations de température
Les courbeurs de miroirs IRELEC utilisent le principe de la flexion 4-points, et permettent un niveau de contrôle inégalé de la forme des miroirs :
- Configuration isostatique
- Supprime tout effort de torsion sur le miroir lors du cintrage
- Codage direct et absolu des efforts de cintrage
- Permet une grande précision du contrôle de la courbure du miroir
- Garantit une grande répétabilité de l’opération de cintrage
- Offre la possibilité d’améliorer la forme initiale du substrat par optimisation des efforts de cintrage sous métrologie optique
- Compatibilité ultravide
- Aucun moteur ou composant à fort taux de dégazage en contact avec le vide
- Accès aisé au miroir pour l’installation et la maintenance
Deux actionneurs indépendants, associés à des miroirs profilés produits par les acteurs majeurs du domaine (Thales-Seso, Winlight, Zeiss, InSync, JTec…), permettent d’obtenir avec une grande précision la forme nominale parfaite.
Specifications
Rayon de courbure
De 50 m à ∞
Résolution (ΔR/R)
0,01%
Répétabilité et hystérésis (ΔR/R)
0,3%
Stabilité longue durée (ΔR/R)
0,05%
Erreur de pente tangentielle / forme nominale elliptique
< 100 nrad rms
Compatibilité ultravide
10-10 mbar
Compensateur de forme
